Milyen porlasztási folyamatok vannak?
A porlasztási technológiát főként a porlasztott maratás és a vékonyréteg-leválasztás során alkalmazzák.
Vékony fóliák lerakásakor a porlasztási forrást a célpontra helyezik, és argonionok bombázása után porlasztják. Ha a cél anyag egyetlen anyag, akkor a cél anyag egyetlen anyag fóliája alakul ki. Ha a reaktív gázt tudatosan vezetjük be a porlasztó kamrába, hogy reagáljon a porlasztott célatomokkal, és lerakódjon a szubsztrátumon, akkor a cél anyag vegyes filmje képződhet. Általában a vegyület vagy ötvözet film a vegyület vagy ötvözet célpontjából készül. Ezt közvetlen porlasztással nyerik.
A porlasztott maratás során a maratott anyagot a célpontra helyezik, és argon-ion bombázással maratják. A maratási sebesség a célanyag porlasztási hozamával, az ionáram sűrűségével és a porlasztó kamra vákuum fokával függ össze. A porlasztott maratás során a porlasztott célatomokat amennyire csak lehet, távolítsák el a porlasztókamrából. A leggyakoribb módszer a reaktív gáz bevezetése a porlasztott célatomokkal való reagáltatáshoz illékony gáz előállítása céljából, amelyet egy vákuumrendszer útján ürít a porlasztókamrából.
Ezen felül a porlasztásos bevonat egy új felületkezelési technológia, amelyet a közelmúltban fejlesztettek ki. A felületkezelési technológia javíthatja az anyagok fizikai, mechanikai és kémiai tulajdonságait, és a porlasztott bevonatnak két különálló tulajdonsága van: "nagy sebesség és alacsony hőmérséklet" a vákuumbevonattal összehasonlítva.
Elérhetőség:
E-mail: mail@refrachina.com
Cím: Suite A2202-03, Qujiang Exhibition Nemzetközi épület, Yanzhan Road, Xi'an,
710061, Kína
Telefon: 86-29-85325399
Fax: 9 029-85325610
