A porlasztási célok főbb teljesítménykövetelményei
A porlasztási célok tisztasága
A tisztaság a cél egyik fő teljesítménymutatója, mivel a célanyag tisztasága nagyban befolyásolja a film teljesítményét. A gyakorlati alkalmazásokban azonban a célanyagok tisztasági követelményei is eltérőek.
A porlasztási célok szennyeződésének tartalma
A szilárd anyagok és a pórusokban lévő oxigén és vízgőz szennyeződések a lerakódott filmek fő forrásai. A különböző célok eltérő követelményeket támasztanak a különböző szennyezőanyag-tartalmakkal szemben. Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium- és alumíniumötvözet-célok különleges követelményeket támasztanak az alkálifémek és a radioaktív elemek tartalmával kapcsolatban.
A porlasztási célok sűrűsége
Annak érdekében, hogy a céltárgy szilárdságának porozitását csökkentsük, és javítsuk a porlasztott film teljesítményét, általában a célnak nagy sűrűségűnek kell lennie. A célsűrűség nemcsak a porlasztási sebességet érinti, hanem a filmek elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja. Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film teljesítménye. Ezen túlmenően a cél sűrűségének és szilárdságának növelése lehetővé teszi, hogy a célpont jobban ellenálljon a porlasztás során fellépő hőhatásnak. A sűrűség a célok egyik legfontosabb teljesítménymutatója.
Szemcseméret és szemcseméret-eloszlás a porlasztási céloknál
Általában a cél polikristályos szerkezet, és a szemcseméret mikronról milliméterre lehet. Ugyanezen cél esetén a célszemcsék finomszemcsés permetezési sebessége gyorsabb, mint a durva szemű céltárgyé, és a céltárgy által elhelyezett film vastagság eloszlása kisebb szemcseméret-különbséggel (egyenletes eloszlás) egyenletesebb.
Elérhetőség:
E-mail: mail@refrachina.com
Cím: Suite A2202-03, Qujiang Kiállítási Nemzetközi Épület, Yanzhan Road, Xi'an,
710061, Kína
Telefon: 86-29-85325399
Fax: 029-85325610
