A vákuumpárologtató film nagyszámú molekula vagy atom elpárologtatása vagy szublimálása vákuumban, legalább 10–2 Pa. A párolgási anyagot állandó hőmérsékletre melegítik ellenállás-melegítés vagy elektronnyaláb és lézeres bombázás útján. hogy az anyagban levő molekulák vagy atomok termikus vibrációs energiája meghaladja a felülethez kötött energiát, majd nagyszámú molekulát vagy atomot elpárologtatnak vagy szublimálnak, és közvetlenül a szubsztrátumra rakják le. Film. Az ionszuszpenzió bevonása egyfajta vékony film, amely a bevont munkadarab felületére úgy helyezkedik el, hogy az atomokból vagy molekulákból megszabadul a cél anyagtól, és a katód célpontját bombázzák a pozitív ionok erőteljes rámutató mozgásával, amelyeket gázkisülés okoz, elektromos mező hatására. .
Az epehólyag melegítésére a leggyakrabban használt módszer a vákuumbepárló bevonat. Előnyei a hőforrás egyszerű felépítése, alacsony költség és az egyszerű kezelés. Nem alkalmas tűzálló fémekhez és magas hőmérsékleten ellenálló dielektromos anyagokhoz. Az elektronnyaláb-fűtés és a lézerfűtés kiküszöböli az ellenállás-fűtés hiányosságait. Az elektronnyaláb-melegítésnél a fókuszált elektronnyalábot közvetlenül felhasználják a bombázott anyag melegítésére, és az elektronnyaláb kinetikus energiáját hőenergiává változtatják az anyag elpárologtatása céljából. A lézerfűtés hőteljesítményű nagy teljesítményű lézert használ, de a nagy teljesítményű lézer magas költsége miatt jelenleg csak néhány kutatólaboratóriumban használható fel.
A porlasztástechnika eltér a vákuum-párologtatás technológiájától. A "szóródás" arra a jelenségre utal, hogy a töltött részecskék bombázzák a test (célpont) felületét, hogy szilárd atomokat vagy molekulákat bocsátanak ki a felszínről. A kibocsátott részecskék többsége atomi állapotban van, ezeket gyakran sugár atomoknak nevezik. A célok bombázásához használt porlasztott részecskék lehetnek elektronok, hányadosok vagy semleges részecskék, mivel az ionokat az elektromos mezőben könnyű felgyorsítani, hogy megkapják a szükséges kinetikus energiát, tehát többségük ionokat használ bombázó részecskékként. A porlasztási folyamat izzításon alapul, vagyis a porlasztó ionok mind a gázkisülésből származnak. A különféle porlasztási technológiák eltérő fénykibocsátási módot alkalmaznak. A bipoláris egyenáramú porlasztás az egyenáramú kisülési trioda porlasztásán alapszik, amelyet meleg katód támogat. A rádiófrekvenciás fénykibocsátáson alapul. A Magnetron porlasztása a gyűrű alakú mágneses mező által szabályozott fénykibocsátáson alapul.
Elérhetőség:
E-mail: mail@refrachina.com
Cím: Suite A2202-03, Qujiang Exhibition Nemzetközi épület, Yanzhan Road, Xi'an,
710061, Kína
Telefon: 86-29-85325399
Fax: 9 029-85325610
